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三坐標測量儀的影響因素之一油和水，因為空氣壓縮機壓縮空氣時，會將空氣中的水分子和油分子壓縮為水和油，而且空氣壓縮機本身工作時也需要潤滑油來潤滑其機構，也使它有一部分潤滑劑注入壓縮氣體中。流入5氣壓縮空5氣的水和油隨著壓縮空氣進入平衡氣缸和4氣浮塊。三坐標測量機工作時，水和油與導軌相連，使導軌的直線度改變

改變。三坐標測量機不工作時，管道內的油滴會堵塞氣浮塊的氣孔，使氣浮塊不能正常浮起，造成氣浮塊與導軌摩擦，損壞氣浮塊，使氣管老化。管路

水中也會腐蝕氣浮塊和平衡氣缸。

三座標測量機影響因素之二：供電其中影響最大的是三坐標測量機的數控系統和計算機系統，電源中的電壓不穩定和電扇污垢導致散熱不良都會導致系統故障。所以三次元具有穩定壓力，

需要穩定電壓電源來過濾雜波。

對于三坐標測量機來說，精度是非常重要的一環，任何一個小的因素都會影響其測量精度，所以在使用過程中，應注意對外界環境的影響。